弹道钛合金泵和超低温制冷泵，真空度极高

弹道钛合金泵对惰性气体有一定的抽速，但由于存在热丝，极限压力在10-9Pa范围内，抽速不易变大，常被替代升华泵和溅射离子泵。低温制冷泵可以通过增加冷冻吸附表面来获得较大的泵送速度，并且它几乎是获得非常高的真空度必不可少的泵送方法。由于它在真空系统中不使用油性工作流体，因此很干净。制冷泵达到饱和后，可以通过定期再生手段恢复泵送能力。